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    電子專用設備儀器“十二五”規劃(下)

    分類:
    新聞中心
    作者:
    來源:
    2017/07/25 18:09
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    【摘要】:
    3.新型元器件生產設備  (1)中小尺寸有機發光顯示(OLED)生產設備研發及產業化  解決無源有機發光顯示(PM-OLED)用有機蒸鍍和封裝等關鍵設備大面積化和低成本化等問題,重點發展蒸發源、掩模對位、玻璃和掩模板固定裝置等設備,進一步提高生產效率?! ¢_展中小尺寸有源有機發光顯示(AM-OLED)產品生產工藝和制造設備研發,突破濺鍍臺、PECVD系統、熱蒸發系統等AM-OLED用的薄膜晶體管(
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